دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شاهرود، شاهرود، ایران
چکیده
در این مقاله، نانوسیم‌های SnO2 با قطر متفاوت به روش رسوبدهی بخار شیمیایی (CVD) بر روی زیرلایه‌های آلومینا، کوارتز و سیلیکون (100) سنتز شدند. نانوساختارهای یک بعدی سنتز شده بوسیله پراش پرتو X، میکروسکوپ الکترونی روبشی، طیف فوتولومینسانس و میکروسکوپ الکترونی عبوری مشخصه‌یابی شدند. از نانوسیم‌های SnO2 به عنوان لایه حساس و فعال در ساخت حسگر گاز استفاده شده است. برای ایجاد اتصال الکتریکی یک جفت الکترود طلا بر روی لایه نازک نانوسیم‌های SnO2 لایه‌نشانی شد. عملکرد حسگری نانوساختارهای SnO2 سنتز شده برای دو گاز مهم و پرکاربرد گاز مایع و بخار اتانول بررسی شده است. به منظور بهینه کردن شرایط حسگری و عملکرد حسگر، حساسیت و پاسخ نانوسیم‌های SnO2 در گستره دمایی 50 تا °C 300 بررسی شد و پارامترهای مهمی چون زمان پاسخ‌دهی، زمان بازیافت و دمای کار برای قطعات ساخته شده بدست آمد. در دماهای بالا، حسگر ساخته شده نسبت به غلظت‌های بسیار کم گاز مایع (LPG) حساسیت قابل قبولی را نشان داده است. از طرف دیگر این حسگر زمان پاسخ‌دهی و بازیافت کوتاهی را برای تشخیص بخار اتانول در دمای کار °C 200 از خود نشان داد.
)
