1
گروه فیزیک، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
2
مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما، واحد علوم و تحقیقات، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
چکیده
ساختار فلز- اکسید- نیمرسانا یک روش مناسب و ارزان برای نمایش غلظت گاز هیدروژن می‌باشد که بر اساس تغییر در تابع کار فلز، مولکول‌های گاز هیدروژن را آشکارسازی می‌کند. حسگر هیدروژنی با استفاده از آنالیزهای XRD و AFM مشخصه‌یابی شده‌اند. تاثیر ضخامت لایه اکسید بر زمان پاسخ‌دهی و زمان برگشت‌پذیری حسگر بررسی شده است. بیشترین پاسخ‌دهی (Response %) و کمترین زمان پاسخ‌دهی حسگر به گاز هیدروژن برای لایه اکسید nm 28 مشاهده شد. نتایج نشان می‌دهد که ساختار Ni/SiO2/Si یک حسگر با سرعت پاسخ‌دهی بالا برای آشکارسازی گاز هیدروژن در غلظت 4% می‌باشد. مقایسه حسگرهای خازنی مختلف اطلاعات مفیدی را در مورد پارامترهای تاثیرگذار بر ساختار MOS بدست می‌دهد.
)